




電子特氣系統(tǒng)的維護(hù)
由于特氣系統(tǒng)是一種具有高風(fēng)險(xiǎn)的供應(yīng)系統(tǒng),因此在生產(chǎn)線(xiàn)現(xiàn)場(chǎng)的維護(hù)需要專(zhuān)業(yè)、有經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)員完成。特氣系統(tǒng)的維護(hù)主要包含氣體柜維護(hù)和管路維護(hù)。
(1)特氣柜又分為全自動(dòng)特氣柜與半自動(dòng)特氣柜,每種氣柜的維護(hù)方法有一定的區(qū)別。氦質(zhì)譜檢漏儀真空檢漏的方法很多,氦質(zhì)譜檢漏儀的使用大大提升了檢漏工作效率。全自動(dòng)氣柜維護(hù)自動(dòng)化程度較高,并且安全可靠。在維護(hù)前關(guān)閉鋼瓶閥門(mén),設(shè)置換瓶吹掃,程序自動(dòng)進(jìn)行抽氣,置換等動(dòng)作,根據(jù)氣體性質(zhì)的不同,一般至少吹掃60次以上,負(fù)壓保壓30分鐘以上,確保氣柜各管路與閥門(mén)吹掃干凈。
(2)管路的維護(hù),由于不同的氣體性質(zhì)不一樣,對(duì)管路維護(hù)的方法也不相同,對(duì)腐蝕性氣體的管道需要多次用高純氮?dú)獯祾撸∟2purge),一般至少反復(fù)30次,對(duì)于有吸附性的液態(tài)源氣體,由于管路容易堵塞,需要多次的反復(fù)的抽真空,抽完后關(guān)閉閥門(mén),1小時(shí)后會(huì)出現(xiàn)壓力表回表的現(xiàn)象,會(huì)造成管道泄漏的誤導(dǎo),遇到此情況打開(kāi)真空器發(fā)生器繼續(xù)抽,直到?jīng)]有吸附氣體釋放為止。檢漏靈敏度:也叫有效靈敏度,指檢漏儀器在1佳工作狀態(tài)下能檢出的1小漏率。
以上兩種系統(tǒng)維護(hù)后都必須做正壓與負(fù)壓的保壓測(cè)試,一般正壓保壓壓力為使用壓力的1.2倍,負(fù)壓保壓為-12PSI,保壓時(shí)間至少120分鐘以上,由于壓力傳感器(PT)受溫度的影響,一般有2PSI的正負(fù)波動(dòng)。
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試驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)的特點(diǎn)
1、特點(diǎn):試驗(yàn)室要求使用載氣流量恒定、氣體純度高,為試驗(yàn)室選用的分析設(shè)備提供量值和壓力穩(wěn)定的氣體。
2、經(jīng)濟(jì)性:建一個(gè)集中的氣瓶間可以節(jié)省有限的試驗(yàn)室空間,更換氣瓶時(shí)不需要切斷氣體,保證氣體的連續(xù)供應(yīng)。將所有載氣氣瓶根據(jù)氣體性質(zhì)分別集中在一個(gè)氣瓶間中與助燃?xì)怏w分開(kāi)存貯。使用者只需管理較少的氣瓶,支付較少的氣瓶租金,因?yàn)槭褂猛粴怏w的所有使用點(diǎn)來(lái)自于同一個(gè)氣源。此種供應(yīng)方式終會(huì)減少運(yùn)輸費(fèi)用,減少退還給氣體公司的空瓶中的余氣量,以及良好的氣瓶管理。
3、使用率:集中管道供應(yīng)系統(tǒng)可以將氣體出口放置在使用點(diǎn)處,這樣的話(huà)可以更合理的設(shè)計(jì)工作場(chǎng)所。
4、安全性:保證其儲(chǔ)存和使用的安全性。保障分析測(cè)試人員在實(shí)驗(yàn)中免受有毒有害氣體的侵害。
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試驗(yàn)室供氣需求
目前大多數(shù)試驗(yàn)室中的各種分析儀器如氣相色譜儀、氣相色譜質(zhì)譜儀、液相色譜質(zhì)譜儀、原子吸收分光光度計(jì)、原子熒光光度計(jì)、等離子發(fā)射光譜儀、電感耦合等離子質(zhì)譜儀等都需要連續(xù)使用高純載氣和燃?xì)猓虼嗽囼?yàn)室的安全、連續(xù)、穩(wěn)定運(yùn)行需要我們考慮如何將這些氣體供到各試驗(yàn)室中放置的分析儀器。并能夠保證標(biāo)準(zhǔn)氣體流量、壓力穩(wěn)定和量值傳遞不發(fā)生變化,滿(mǎn)足分析檢測(cè)設(shè)備對(duì)使用氣體的技術(shù)要求。
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