




實驗室氣體的危險性
1.有部分氣體具有毒、強腐蝕等特性,其一旦泄漏,就可能會對工作人員及儀器設(shè)備造成傷害;
2.多種氣體在同一個環(huán)境下使用,如果有兩種會發(fā)生燃燒或爆1炸等強烈化學反應的氣體同時泄漏,就可能對工作人員以及儀器設(shè)備造成傷害;
3.多數(shù)氣瓶出口壓力1高可達15MPa,即150公斤/cm2,如果發(fā)生氣瓶口減壓裝置失靈,就有可能將一些部件激1射出去,其能量對人體或設(shè)備都具有致命性的傷害。
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電子特氣系統(tǒng)的維護
由于特氣系統(tǒng)是一種具有高風險的供應系統(tǒng),因此在生產(chǎn)線現(xiàn)場的維護需要專業(yè)、有經(jīng)驗的技術(shù)員完成。特氣系統(tǒng)的維護主要包含氣體柜維護和管路維護。
(1)特氣柜又分為全自動特氣柜與半自動特氣柜,每種氣柜的維護方法有一定的區(qū)別。全自動氣柜維護自動化程度較高,并且安全可靠。在維護前關(guān)閉鋼瓶閥門,設(shè)置換瓶吹掃,程序自動進行抽氣,置換等動作,根據(jù)氣體性質(zhì)的不同,一般至少吹掃60次以上,負壓保壓30分鐘以上,確保氣柜各管路與閥門吹掃干凈。1小可檢漏率:是指采用某種檢漏方法或儀器可能檢測出來的1小漏率。
(2)管路的維護,由于不同的氣體性質(zhì)不一樣,對管路維護的方法也不相同,對腐蝕性氣體的管道需要多次用高純氮氣吹掃(N2purge),一般至少反復30次,對于有吸附性的液態(tài)源氣體,由于管路容易堵塞,需要多次的反復的抽真空,抽完后關(guān)閉閥門,1小時后會出現(xiàn)壓力表回表的現(xiàn)象,會造成管道泄漏的誤導,遇到此情況打開真空器發(fā)生器繼續(xù)抽,直到?jīng)]有吸附氣體釋放為止。不應在封閉空間內(nèi)用惰性氣體(如氮氣、二氧化碳等)進行實驗分析、燒焊、低溫冷藏、吹除等等。
以上兩種系統(tǒng)維護后都必須做正壓與負壓的保壓測試,一般正壓保壓壓力為使用壓力的1.2倍,負壓保壓為-12PSI,保壓時間至少120分鐘以上,由于壓力傳感器(PT)受溫度的影響,一般有2PSI的正負波動。
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特氣系統(tǒng)知識分享:標準氣體
所謂標準氣體就是用來校正測量儀器、評價測定方法、給出未知樣品氣標準值的氣體。它分為調(diào)整零位用標準氣體(零位氣體)、監(jiān)測環(huán)境用標準氣、工業(yè)分析用標準氣體、醫(yī)1療儀器用標準氣體、可燃性氣體泄漏用標準氣體、燃燒器尾氣用標準氣體六大類。由于使用了標準氣,所以即使在不同場所測定,也具有相同測定值。本信息由艾明坷為您提供,如果您想了解更多產(chǎn)品信息,您可撥打圖片上的電話咨詢,艾明坷竭誠為您服務。
標準氣體應用范圍很廣,在化工、石油冶金、機械、航天、電子、陶瓷、汽車、光纖、激光、潛水、環(huán)保、切割、焊接、食品加工等工業(yè)部門均使用大量的常用氣體和特種氣體。其中在石油化工領(lǐng)域?qū)藴蕷怏w的需求量相對較大。
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高純氣體的輸送管路系統(tǒng)
隨著微電子工業(yè)的發(fā)展,超大規(guī)模集成電路制造的硅片尺寸越做越大,要求半導體制造工藝中的氣體品質(zhì)相應越來越高,對氣體中雜質(zhì)和露1點要求極為嚴格,需要達到ppb、ppt級,塵埃粒徑求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此對高純氣體的輸送管路系統(tǒng)提出了非常高的要求 。并成為當今試驗室設(shè)備使用高純氣體的可靠連續(xù)的供應源,氣體通過管道系統(tǒng)輸送至試驗室內(nèi),并可通過安裝在工作臺上的使用點二級減壓器方便地調(diào)節(jié)壓力和流量。
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