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半導(dǎo)體手套箱常用指南【艾明坷】
2021-06-18






結(jié)構(gòu)原理

手套箱結(jié)構(gòu)原理

主要由主箱體、過渡室兩部分組成。如用戶有其它特殊要求,也可以根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)計(jì)制造。

主箱體上有兩個(gè)(或兩個(gè)以上)手套操作接口,分布在箱體的前邊(或前后兩邊),這使得本操作箱能被一個(gè)(或幾個(gè))人同時(shí)操作,提高了箱體的使用效率。另外,在箱體的前面(或前后)都有觀察窗,操作者能夠清楚地觀察到箱體內(nèi)的操作過程,使得操作過程直觀地展現(xiàn)在操作者的眼前。過渡室的閥門上有抽氣與充氣接嘴,在需要抽氣或充氣時(shí)可由此接入。主箱體上也安裝有閥門和接嘴,用戶在需要維持氣壓平衡而對主箱體放氣或充氣時(shí)可以使用(手套口之間的三通閥必要時(shí)也可以用來放氣)。露1點(diǎn)分析儀采用P2O5傳感器,應(yīng)用于鋰電等腐蝕環(huán)境,可通過清洗再生恢復(fù)使用,避免一次污染就報(bào)廢的問題。主箱體的前觀察窗上方安裝了照明日光燈。

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手套箱應(yīng)用領(lǐng)域及用途

手套箱應(yīng)用領(lǐng)域:

1、半導(dǎo)體工業(yè)中MOCVD技術(shù)

2、特種燈(HID)開發(fā)與生產(chǎn)

3、微電子、激光及等離子焊

4、OLED/PLED開發(fā)與生產(chǎn)

5、鋰離子電池開發(fā)與生產(chǎn)

6、無機(jī)/有機(jī)化學(xué)研究

7、金屬鹵化物/金屬粉末/陶瓷粉末研究

8、納米材料研究

9、催化劑研究

10、YAG激光焊接

用途:操作需要隔絕空氣進(jìn)行實(shí)驗(yàn),保護(hù)實(shí)驗(yàn)者免受有毒化學(xué)品的傷害。比通風(fēng)柜隔絕徹底,但操作起來比較不便。主要用于毒性特別強(qiáng)的情況。進(jìn)行可能造成嚴(yán)重生物性危害的實(shí)驗(yàn),例如病菌。






手套箱常見故障及解決辦法

1、循環(huán)和分析儀同時(shí)關(guān)掉

原因:①箱內(nèi)壓力瞬間過高,超過+12mbar,系統(tǒng)自動保護(hù);②電壓不穩(wěn),造成系統(tǒng)保護(hù)。

辦法:①檢查壓力設(shè)置是否正確、壓力傳感器是否異常,箱體真空閥或補(bǔ)1氣閥是否損壞,壓力回復(fù)正常后,再開啟分析儀和循環(huán)。②檢查真空泵是否壞掉,無法運(yùn)行。

2、大、小倉無法補(bǔ)1氣

原因:①手套箱內(nèi)通往大小倉的氣孔可能被塑料薄膜等堵塞;②電磁閥是否沒有打開。

辦法:①根據(jù)管路走向,確定氣孔位置,疏通管路;②檢查線路及電磁閥。

3、大小倉無法抽氣

原因:①大小倉內(nèi)抽氣孔被塑料薄膜等堵塞或艙門漏氣;②倉門沒關(guān)緊,或是大小倉密封圈松動。

辦法:①根據(jù)管路走向,確定氣孔位置,疏通管路;②關(guān)緊倉門,檢查大小密封圈;③檢查工作氣壓是否過低(因?yàn)榇髠}抽氣閥是氣動閥)。







焊接手套箱

在航空航天和醫(yī)1療應(yīng)用中使用的材料如鈦或鎂容易在焊接的過程中氧化并變脆,難以焊接。另外在焊接過程會產(chǎn)生的危險(xiǎn)氣體與顆粒物質(zhì)對人體傷害極大。

焊接手套箱針對解決激光焊接中空氣中的濕度以及空氣中雜質(zhì)的影響,該手套箱有兩個(gè)90度方艙,左側(cè)為加熱艙,右側(cè)為過渡艙,加熱艙1高溫度200℃,加熱板可以同期快速冷卻,方艙門外側(cè)為手動門,內(nèi)門為自動門,內(nèi)外門互鎖,手套箱體通過流量計(jì)控制清洗,也可以連接凈化系統(tǒng)。獨(dú)特的雙工位,確保每個(gè)工位的操作人員都可以單獨(dú)的進(jìn)行全部的實(shí)驗(yàn)操作的全部過程。

功能描述:

1、泄漏低;2、箱體內(nèi)水氧含量低;3、設(shè)備整體性能穩(wěn)定;4、水氧檢測真實(shí)可靠

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