




真空鍍膜機
真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。
需要鍍膜的被稱為基片,鍍的材料被稱為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。真空鍍膜機部件分析真空主體——真空腔根據(jù)加工產(chǎn)品要求的各異,真空腔的大小也不一樣,目前應用1多的有直徑1、3M、0、9M、1、5M、1、8M等,腔體由不銹鋼'target=_blank>。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結構-迷走結構-層狀生長)形成薄膜。 對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,終形成薄膜。
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鍍膜機操作程序
真空鍍膜機操作程序具體操作時請參照該設備說明書和設備上儀表盤指針顯示及各旋鈕下的標注說明。
① 檢查真空鍍膜機各操作控制開關是否在'關'位置。
② 打開總電源開關,設備送電。
③ 低壓閥拉出。開充氣閥,聽不到氣流聲后,啟動升鐘罩閥,鐘罩升起。
④ 安裝固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在轉動圓盤上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內(nèi)。清理鐘罩內(nèi)各部位,保證無任何雜質(zhì)污物。
⑤ 落下鐘罩。
⑥ 啟動抽真空機械泵。
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真空鍍膜機的檢漏方法
真空鍍膜機廠家查看漏氣狀況是確保真空鍍膜機真空度的一項查看辦法,簡稱檢漏,真空度的凹凸是直接影響到鍍膜作用的,所以檢漏是必不可少的。
通常真空室內(nèi)漏氣都是從室壁上的一些小孔或部件之前的銜接位細縫中發(fā)生,當抽氣系統(tǒng)抽氣后使真空室內(nèi)壓強降低,外部與內(nèi)部的壓強差使氣體從壓強高的外部流向壓強低的真空室內(nèi),形成真空度降低。
真空鍍膜機廠家介紹在檢漏的過程中,需求注意一些問題,才能把檢漏作業(yè)做好。為真空鍍膜設備做好檢漏作業(yè)是很主要的,形成真空度降低的緣由多種多樣,咱們要逐個的處理這些緣由,安穩(wěn)鍍膜的作用。
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