實驗室氣路安裝要求

1、所有氣體管路都由高質(zhì)量的、完全退火型、無縫連接的不銹鋼管組成。銅管只使用在氣體管路的末端，對氣體純度要求不是太嚴(yán)格的地方。

2、氣路安裝管道不得和電纜、導(dǎo)電線路同架鋪設(shè)。

3、易1燃氣體，如乙1炔需要和其他氣體分開單獨引入。氫氣管道若與其他可燃氣體管道平行敷設(shè)時，其間距不應(yīng)小于0.5M；交叉敷設(shè)時間距不應(yīng)小于0.25M。分層敷設(shè)時氫氣管道應(yīng)位于上方。

4、壓縮空氣在管路上有過濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置，此凈化裝置需要并聯(lián)一路，用單獨的閥門隔離，以方便對過濾裝置進行維修。

5、高純氣體管路的連接為無縫焊接。連接到閥門或調(diào)節(jié)裝置時才可以使用接頭配件。

6、每個實驗室都要有單獨的控制閥、減壓閥和壓力表。

7、引到工作臺的氣體管路要安裝單獨的控制閥。工作臺上要均勻排放各種氣體的控制閥門。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。

8、每隔1.5米左右，氣體管路就需要有支架。另外根據(jù)氣體管路彎曲的半徑，設(shè)置合適的支架位置。所有彎曲處都要有支撐。氣路安裝管路所有的支架都要進行鍍鋅防腐處理。

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大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹

大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） 超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線（氣體種類包括NH3），發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括4、3、NF3）、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產(chǎn)線（氣體種類包括HCL）等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，采用1先進的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，對穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。氣體配比儀采用高精度質(zhì)量流量計，電化學(xué)拋光316L不銹鋼管件，雙卡套或者VCR氣體接頭。

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特氣系統(tǒng)知識分享：一般混合氣體

由兩種以上氣體混合配制而成的氣體,而且主要標(biāo)出大致濃度,即可滿足使用要求,這種氣體稱為一般混合氣體。

對氣體分析儀用氣體,如含氫10%，其余是氦的混合氣以及含甲1烷5%或10%；含氫40%，其余是氮或氦的混合氣被用作氫火焰總烴檢測儀的燃料氣。

在測定放1射性物質(zhì)時,使用的混合氣有下列幾種組成:含異丁烷0.95%,或含丁烷1.3%，或含丙烷1.5%，或含甲1烷5%～10%，均以氦為底氣。

深海呼吸用含氧20%～60%,其余是氮或氦的混合氣。激光用氣含CO24%～16%,N210%～25%，其余是氦。

光化學(xué)反應(yīng)、動植物實驗室和金屬腐蝕等研究用的混合氣因關(guān)系到公害問題,所以其中二氧化氮、二氧1化硫和硫1化氫等都要保持低濃度。

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特種氣體使用安全

首先,應(yīng)對特氣的危害性進行分析,通過本質(zhì)安全設(shè)計,消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風(fēng)、電氣防爆等進行評估。管道設(shè)計應(yīng)進行保壓和氦測漏,確保系統(tǒng)密閉性。鋼瓶和管道閥門應(yīng)選用隔膜或波紋管密封閥門。管道系統(tǒng)應(yīng)采用焊接系統(tǒng),機械接頭均應(yīng)置于抽風(fēng)罩內(nèi)。排放氣體應(yīng)進行安全處理。氣體輸送設(shè)備具有緊急切斷功能。多種氣體在同一個環(huán)境下使用，如果有兩種會發(fā)生燃燒或爆1炸等強烈化學(xué)反應(yīng)的氣體同時泄漏，就可能對工作人員以及儀器設(shè)備造成傷害。操作應(yīng)遵循標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程。

其次,采用監(jiān)測手段,預(yù)防事故發(fā)生。設(shè)置氣體泄漏偵測器,監(jiān)控氣體泄漏?？扇夹詺怏w應(yīng)設(shè)置高溫或火焰?zhèn)蓽y器。危險氣體應(yīng)設(shè)置過流開關(guān)。特氣系統(tǒng)氣柜應(yīng)進行負壓監(jiān)測,防止抽風(fēng)系統(tǒng)的失效。偵測系統(tǒng)應(yīng)與報警和緊急切斷連鎖。系統(tǒng)還應(yīng)進行遠程監(jiān)控。實驗室氣體管道設(shè)計要求了解實驗室設(shè)計的都知道：實驗室的任何的設(shè)計都是有規(guī)格要求的，出了這個要求的范圍那么實驗室的設(shè)計就有漏洞，就不合格，就容易發(fā)生事故。監(jiān)控系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置不間斷電源。