手套箱常見故障及解決辦法

1、水氧含量大于200ppm

原因：新箱調(diào)試或誤操作。

辦法：停止循環(huán)，開啟清洗，清洗至100ppm以下，開啟循環(huán)。

2、屏幕顯示 主閥壓力不足0.4MPa或主閥信號故障

原因：氣源壓力不足。

辦法：換氣瓶，增大壓力至0.4-0.5MPar。

3、屏幕顯示“Pump Switch Off”

原因：真空泵阻力過大，造成跳閘。

辦法：維修真空泵后，打開電柜，合上跳閘開關(guān)。

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真空手套箱

手套箱包含真空手套箱、有機玻璃手套箱、凈化手套箱，所謂真空手套箱其實就是剛剛引進手套箱概念到國內(nèi)時，國內(nèi)批廠商命名的，就是手套箱需要真空泵抽取過渡艙氣體后放入手套箱，箱體氣氛也可以被真空泵抽取的意思，可以帶惰性氣體純化系統(tǒng)也可以是不帶氣體純化系統(tǒng)簡單的箱體；有機玻璃手套箱一般是不帶氣體凈化系統(tǒng)的透明箱體，里面填充99.999%純度氮氣，一般箱內(nèi)氣氛不能達到<10ppm的純度，不帶氣氛檢測、吹掃過稱需消耗大量氮氣；3、對系統(tǒng)抽氣時，請緩緩打開閥門，并隨時注意手套的變化，如出現(xiàn)膨脹，應(yīng)減慢抽氣速度，如仍不能解決問題，應(yīng)停止抽氣，如手套發(fā)生爆裂，檢查三通閥是否打開。凈化手套箱一般是帶氣體純化系統(tǒng)和密閉箱體操作空間的手套箱，可達到的環(huán)境氣氛純度高，一般品質(zhì)過硬的廠商，水氧指標都能控制到<1ppm的高純狀態(tài)。

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真空熱蒸發(fā)鍍膜工藝

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層有機薄膜和金屬電極，薄膜的質(zhì)量關(guān)系到器件質(zhì)量和壽命。在有機真空腔室中設(shè)有多個放置有機材料的蒸發(fā)舟，加熱蒸發(fā)舟蒸鍍有機 材料；在金屬真空腔室中設(shè)有多個放置金屬電極的蒸發(fā)舟，金屬蒸發(fā)舟常采用鉬、鉭和鎢等材料制作，電極材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函數(shù)的活潑金屬。ITO玻璃基板放置在可加熱的旋轉(zhuǎn)樣品托架上，其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案，并利用石英晶體振蕩器來控 制膜厚。所以，有機玻璃手套箱在利用和潔凈的時候，必需注意，不能利用酒精。

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