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高純供氣系統(tǒng)生產(chǎn)廠家品牌企業(yè)「艾明坷」
2021-06-18






實驗室氣路安裝要求

1、所有氣體管路都由高質(zhì)量的、完全退火型、無縫連接的不銹鋼管組成。銅管只使用在氣體管路的末端,對氣體純度要求不是太嚴格的地方。

2、氣路安裝管道不得和電纜、導電線路同架鋪設。

3、易1燃氣體,如乙1炔需要和其他氣體分開單獨引入。氫氣管道若與其他可燃氣體管道平行敷設時,其間距不應小于0.5M;交叉敷設時間距不應小于0.25M。分層敷設時氫氣管道應位于上方。

4、壓縮空氣在管路上有過濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置,此凈化裝置需要并聯(lián)一路,用單獨的閥門隔離,以方便對過濾裝置進行維修。

5、高純氣體管路的連接為無縫焊接。連接到閥門或調(diào)節(jié)裝置時才可以使用接頭配件。

6、每個實驗室都要有單獨的控制閥、減壓閥和壓力表。

7、引到工作臺的氣體管路要安裝單獨的控制閥。工作臺上要均勻排放各種氣體的控制閥門。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。

8、每隔1.5米左右,氣體管路就需要有支架。另外根據(jù)氣體管路彎曲的半徑,設置合適的支架位置。所有彎曲處都要有支撐。氣路安裝管路所有的支架都要進行鍍鋅防腐處理。

艾明坷科技有限公司專業(yè)致力于手套箱、溶劑凈化等行業(yè)技術服務,艾明坷竭誠為您服務!


特種氣體的應用

電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領域應用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術含量、高投入、高附加值的高新技術產(chǎn)業(yè)。電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種,按危險性質(zhì)可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。每種氣體可以將多瓶氣體并聯(lián)然后通過一個出口統(tǒng)一減壓后運送氣體至使用點。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。

特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導體工業(yè)中應用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20~30種。

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小流量氣體凈化系統(tǒng)

高純供氣系統(tǒng)主要應用于鋼瓶氣、管道氣及氣體發(fā)生器等的高純連續(xù)供氣,應用于超微量水、氧分析儀、氣相色譜儀、常壓離子質(zhì)譜儀等各類氣體分析儀器純化載氣或零點氣,也可用于超高純度氣體管道安裝施工中的吹掃氣體,更可以為半導體工藝設備提供超高純的工藝氣體。氣體配比儀采用高精度質(zhì)量流量計,電化學拋光316L不銹鋼管件,雙卡套或者VCR氣體接頭。

氣體凈化系統(tǒng)根據(jù)需求采用常溫或者高溫吸附劑,電化學拋光316L不銹鋼管件,出氣口配置微米過濾器,其氣體純化指標達到各項雜質(zhì)含量小于1ppb的世界先進水平。

氣體配比儀采用質(zhì)量流量計,電化學拋光316L不銹鋼管件,雙卡套或者VCR氣體接頭。



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