利用惰性氣體將儲液器溶中的溶劑壓入凈化柱中，溶劑中的O2等雜質與除氧器中的低價氧化物作用，生成金屬氧化物，以實現深度脫氧：

2xM+yO2→2MxOy（室溫）

脫氧后的氣體進人吸附器中，H2O等強吸附質被吸附劑吸附后，即得到高純溶劑，可直接取用。

除氧器、吸附器經較長時間的工作，脫氧和吸附能力會逐漸下降，當除氧器或除水器快要飽和失效時，就應停止使用，并對失效的塔進行再生，再生后的凈化柱又可繼續(xù)使用。